薄膜镀膜有哪些不同类型？

学习中心 • 2023年6月19日 21:29 • 阅读 1572

薄膜镀膜由半导体工业、军事和光学器件应用中常用的电介质、金属和氧化物化合物制成。制造工艺通常涉及物理气相沉积，例如溅射沉积，或化学气相沉积，其中化学反应和高能等离子体用于沉积薄膜。归类为薄膜的涂层通常被认为最大厚度为一微米或 1，000 纳米，可以是铁磁性、陶瓷或某种程度的导电或绝缘材料。

光学镀膜是薄膜镀膜的主要生产领域之一，并提供了重要的用途，例如用于激光滤光片和医学激光手术的护眼。减反射涂层广泛用于相机、望远镜和数字视频光盘（DVD）播放器中的镜头中，以减少会降低此类设备性能的正常光反射。光学领域的一些薄膜镀膜也是多层的，以与各种波长的光进行不同的相互作用，并用于计算机显示器，具有反射和抗反射特性的眼镜以及电视摄像机。反射光学镀膜呈镜面状，通常由铝、金或银制成，用于复印机、条形码扫描仪以及工业和军用高功率激光器。

带有防反射薄膜涂层的黑色眼镜。

陶瓷薄膜用于涂覆暴露于化学和热应激的切削刀具，用于医疗用途，因为它们具有惰性，以及许多其他领域。自2011年起，由陶瓷薄膜涂层组成的锂离子电池基板已用于电子行业，并通过美国橡树岭国家实验室十多年的研究进行了完善。集成电路的陶瓷基座是植入电池的平台，可以在-4°至284°华氏度（-20°至140°C）的宽温度范围内工作，并且具有任何形状或尺寸，这使电路的应用范围比传统设计更广泛。如有必要，它们能够在高达 536 华氏度（280 摄氏度）的温度下工作，使其可用于传感器、智能卡和植入式医疗设备，例如除颤器和神经刺激器。

薄膜器件技术广泛应用于光学器件和半导体。

染料敏化太阳能电池（DSSC）也依赖于二氧化钛TiO的薄膜沉积。2，尽管它们的厚度通常为 5 到 20 微米。该技术涉及陶瓷、半导体和光学材料的薄膜涂层的组合，设计用于持续 20 年的阳光照射。这些太阳能电池电子设备的固态设计有望使它们比标准硅基太阳能电池更具成本效益和更易于生产。

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